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( 一 ) 亂流式
1)空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內的空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。
2)氣流非直線(xiàn)塑運動(dòng)，而呈不規則的亂流或渦流狀態(tài)，
3 )此形式適用于潔凈室等級為1000-100000級
4 )亂流式的優(yōu)點(diǎn)
①構造簡(jiǎn)單。
②系統建造成本低。
③潔凈室的擴充比較容易
④在某些特殊用途場(chǎng)所。
⑤可并用無(wú)塵工作臺D
⑥提高潔凈室等級。
5)亂流式的缺點(diǎn)
①亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。
②若系統停止運轉后再激活，欲達需求的潔凈度.往往需耗時(shí)相當長(cháng)的一段時(shí)間。
(2 )層流式層流式潔凈室空氣氣流運動(dòng)成一均勻的直線(xiàn)形�？諝庥筛采w率100% 的過(guò)濾器進(jìn)人室內.并由髙架地板或兩隔墻板回風(fēng)。此形式適用于潔凈室等級需求較髙的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為1 -100級。
( 二 ) 水平層流式
①水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
②水平層流式的優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單.運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。
③水平層流式的缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高.室內空間不易擴充。
垂直層流式
①房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹。
②可得到較高的潔凈度.在制造過(guò)程中或工作人員所產(chǎn)生的塵�？煽焖偻瞥鍪彝舛粫�(huì )影晌其他工作區域。
③垂直層流式的優(yōu)點(diǎn)
a.彈性擴充容易。
b .運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)。
c .不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
④垂直層流式的缺點(diǎn)
a.構造費用較高。
b.彈性運用空間困難。
c.頂的吊架相當占空間。
d.維修更換過(guò)濾器較麻煩。
(三) 復合式
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。
1)潔凈隧道
①以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋，使潔凈度等級提高至丨0 級以上，可節省安裝運轉費用.
②此形式需將作業(yè)人員的工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì).ULSI制程大都采用此種形式。
③潔凈隧道的優(yōu)點(diǎn)
a .彈性擴充容易。
b .維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
2)潔凈管道
①將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。
②因產(chǎn)品和作業(yè)員以及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度。
③可節省能耗.不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。
④藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用.
3 )并裝局部潔凈室
①將潔凈室等級10000〜100000的亂流潔凈室內產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10-1000級以上，為生產(chǎn)之用。
②潔凈工作臺、潔凈工作棚，潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi).
③潔凈工作臺潔凈等級為1--100級。
④潔凈工作擁潔凈工作為在亂流式的潔凈室空間內以防靜電的透明塑料布圍成小空間，采用獨立的HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級的潔凈空間.其等級為10-1000級.高度在2. 5m左右，覆蓋面積約10m3以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
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