溫度首先應服從工藝要求，當工藝無(wú)要求時(shí)應考慮人的舒適性要求。工藝要求主要有以下這種恒溫要求
溫度波動(dòng)一般< 1℃的算恒溫，但溫度最大波動(dòng)范圍不大于2°c的也可稱(chēng)恒溫， 例如22°C士2°C即表明波動(dòng)范圍最低不得低于20°C，最高不得高于24℃，可以按恒溫考慮。有的書(shū)中寫(xiě)成22士5°C，這是不了解什么是恒溫，允許變化5°C絕不是恒定溫度了。
恒溫包括室溫波動(dòng)范圍，即控制點(diǎn)或參考點(diǎn)的溫度或設定的恒溫參數在24h內的波動(dòng)范圍；還包括區域溫差，即工作區平面內最大兩點(diǎn)溫度差別。
圖5-1是工作區溫度波動(dòng)范圍統計曲線(xiàn)，是按各測點(diǎn)的各次溫度中偏離控制點(diǎn)溫度的最大值占測點(diǎn)總數百分比整理而成的。
圖5-2是工作區區域溫差統計曲線(xiàn)，是按各測點(diǎn)中最低溫度與各點(diǎn)平均溫度的偏差點(diǎn)占測點(diǎn)總數百分比整理而成的。
要求90%以上測點(diǎn)所達到的偏差值為波動(dòng)范圍或區域溫差，對以上兩圖有：
室內工藝 室溫波動(dòng)范圍/ t： 區域溫差/X：
無(wú)設備熱源 < 士0.4 <士0.3
1.5kW 設備熱源 < 士0.5 <士0.4
2.5kW 設備熱源 < 士0.5 <士0.4
隨著(zhù)技術(shù)的發(fā)展，潔凈室要求高精度恒溫的越來(lái)越多，例如用于大規模集成電路生產(chǎn)的硅片，當直徑為100mm時(shí)，溫度上升1°C就會(huì )引起0.24/im的線(xiàn)膨脹，所以必須有士 0.1°C的恒溫，同時(shí)要求溫度基數一般較低，因為潔凈室內人穿的衣服較嚴密，容易出汗，汗水中的鈉對半導體制品影響大，這種車(chē)間不宜超過(guò)25°C。
所以在選擇空氣過(guò)濾器進(jìn)行空氣排風(fēng)及過(guò)濾上都要涉及到溫度控制的要求，希望這些信息能為您帶來(lái)一定的幫助！
